蘇州永創睿能·非衡_系列
正負不對稱雙極性脈沖電源
PPS±feih
正負不對稱雙(shuang)極性脈沖電(dian)源

1. 產品概述
正負不對稱雙極性脈沖電(dian)源PPS±feih蘇州永創(chuang)智能(neng)科(ke)技有(you)限公司(si)開(kai)發(fa)生(sheng)產(chan)。睿能(neng)·非衡系(xi)列電(dian)源專為(wei)高級鍍(du)膜工藝而(er)設計的高精度、高性能(neng)電(dian)源解決方案。

正(zheng)負不(bu)對稱(cheng)雙極性(xing)脈(mo)沖電源(yuan)PPS±feih它創新性(xing)地(di)采用(yong)了雙極性(xing)不(bu)對稱(cheng)輸出(chu)設計，可獨立(li)產(chan)生+1200V/選配(pei)2000V的(de)(de)(de)正(zheng)脈(mo)沖與-900V/選配(pei)1500V的(de)(de)(de)負脈(mo)沖，并能在10kHz至50kHz的(de)(de)(de)高(gao)頻范圍內(nei)進(jin)行(xing)精確(que)的(de)(de)(de)脈(mo)沖調制。通過獨立(li)控制正(zheng)負脈(mo)沖的(de)(de)(de)寬(kuan)度與頻率，該電源(yuan)能實現(xian)對等離子(zi)體環(huan)境的(de)(de)(de)精準塑(su)造，顯著提升薄膜的(de)(de)(de)附著力、致(zhi)密性(xing)與綜(zong)合性(xing)能，是追求卓越(yue)鍍膜質量的(de)(de)(de)用(yong)戶(hu)的(de)(de)(de)理想選擇。

正負(fu)不對稱雙極性脈沖電源PPS±feih蘇州永創智能(neng)科技有限公(gong)司(si)開發生產。

2. 產品特點
①核(he)心雙極(ji)不對稱輸出

獨(du)立電壓(ya)控制：正極性(xing)輸出(chu)高達 +1200V，負極性(xing)輸出(chu)達 -900V，這種獨(du)特的電壓(ya)不對稱性(xing)，能為(wei)工藝(yi)過程提供更優化(hua)的能量輸入(ru)。

協同占空比調節：正脈沖占空比（80%_{100%）與負脈沖占空比（20%}0%）協同可調，實現對離子轟擊與沉積過程的獨立精細控制(zhi)，從而優化薄(bo)膜生(sheng)長動(dong)力學。

② 高頻精密脈沖調制

寬頻可(ke)調：工(gong)作頻率在(zai) 10kHz ~ 50kHz 范圍內(nei)可(ke)數字設置(zhi)，滿足不同(tong)工(gong)藝階段(duan)對脈(mo)沖頻率的多樣化需求。

高精(jing)度(du)輸出： 輸出電流(liu) 0~1A 可調，確保在復雜工藝條(tiao)件下仍(reng)能提供穩定、純凈(jing)的脈沖波(bo)形。

③卓越的可(ke)靠(kao)性與穩定性

軟(ruan)啟動(dong)技術：內置先進的(de)軟(ruan)啟動(dong)電(dian)路，有效抑制開機(ji)瞬間的(de)電(dian)壓(ya)電(dian)流沖擊，保護(hu)電(dian)源本身(shen)及后端昂貴的(de)鍍膜設備(bei)。

嚴格過沖控制：輸出電壓(ya)過沖被嚴格控制在極低水平，確(que)保工藝重復性(xing)和膜層質(zhi)量的一(yi)致性(xing)，保護(hu)基片與靶材。

④智能化(hua)與可視化(hua)操作

數(shu)字設置(zhi)與監(jian)控：所有關鍵參數(shu)（電壓、頻(pin)率、占空比）均可通過前面板數(shu)字設置(zhi)，并實時顯示工作狀(zhuang)態，操作直觀簡便。

3. 典型應用

① 高級真空鍍膜
PVD（物理氣相沉積）：如(ru)磁控(kong)濺射、電弧離(li)子鍍等工(gong)藝中，作為基體(ti)偏壓電源，用于精確(que)控(kong)制(zhi)離(li)子對基片的轟擊能量(liang)與方向(xiang)。

制備高性能薄膜：如類金剛(gang)石(shi)薄膜（DLC）、氮化(hua)鈦薄膜（TiN）、氧化(hua)鋁薄膜等硬質、耐磨(mo)、防腐涂(tu)層。

② 表面工程與改性

等離子體浸沒(mei)離子注入與沉積。

材(cai)料表面清洗與活(huo)化處理。

③ 前沿科研領域

等離(li)子(zi)體物理、新材料合(he)成等需要(yao)對等離(li)子(zi)體參數進行(xing)精密調控的科學研(yan)究。

4. 參數規格
序 項目........................要求

1. 輸出電壓....................正極性+1200V
   輸出(chu)電(dian)壓....................負極性-900V

2. 輸出(chu)電(dian)流.....................0~1A

3. 頻率........................10kHz~50kHz可設置

4. 占空(kong)比......................PWM1(正脈沖)占空(kong)比80~100%

5. 占空比(bi)......................PWM2(負(fu)脈沖(chong))占空比(bi)20~0%

6. 注意事項1...................電源的(de)電壓電流數據采用485傳輸

7. 注意事(shi)項2...................PWM1和PWM2是互補的關(guan)系，

8. 注意事(shi)項(xiang)3...................PWM1和PWM2的(de)占空比設置(zhi)要加入死(si)區(固(gu)定值(zhi)或百分比，當頻率高(gao)的(de)時候固(gu)定值(zhi)合適(shi)點)